德國Thyracont真空計在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

德國Thyracont公司致力于研發(fā)和生產(chǎn)智能真空測量儀表以及控制儀表

我們的產(chǎn)品組合包括真空傳感器、真空傳感器、真空計、真空開關(guān)、控制器以及附件和真空組件。Thyracont真空計包括了薄膜規(guī)，電容規(guī)，電阻規(guī)，皮拉尼，熱陰極，冷陰極，以及復(fù)合真空規(guī)，滿足不同量程的需求。

圖拉特thyracont真空產(chǎn)品應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

晶圓鍵合是半導(dǎo)體技術(shù)中的一個程序步驟，將兩個晶圓連接在一起。對于某些應(yīng)用，如芯片傳感器的封裝，該過程是在真空下進行的。

加載時，粘結(jié)室通過粗加工泵在旁路連接中抽真空，直到達到真空度，此時系統(tǒng)可以平穩(wěn)切換到高真空泵。然后在高真空條件下進行粘合過程。在抽真空過程中，必須精確控制旁路中的絕對壓力，以防止損壞高真空系統(tǒng)。在晶圓鍵合過程中，必須監(jiān)測腔室內(nèi)的真空度，以保證所需的結(jié)果。

VSC43MA4型粗真空傳感器用于控制旁路循環(huán)。其陶瓷傳感器以所需的精度測量絕對壓力，并且?guī)缀鯚o需維護。粘合過程的過程壓力通過帶有皮拉尼/冷陰極組合傳感器的VSM傳感器進行監(jiān)控。

緊湊型VSC43壓電傳感器用于測量粗真空范圍內(nèi)的絕對壓力。由于其耐用的陶瓷傳感器，它對污垢和污染幾乎不敏感

VSC43真空計

耐化學腐蝕：帶氟橡膠密封的陶瓷傳感器

可靠：高可靠性和長期穩(wěn)定性

獨立：測量不受氣體類型的影響

快速：響應(yīng)時間短，可達 20 ms

堅固耐用： 耐臟污

可根據(jù)要求提供控制器：適用于 Thyracont 1 和 2 通道控制器 VD6 / VD12

標準化線性輸出信號 0-10 V（四線）或 4-20 mA（兩線）

帶皮拉尼/冷陰極傳感器的VSM真空傳感器：

· 長壽命：通過皮拉尼自動控制冷陰極，冷陰極在低壓下接通可延長使用壽命，對空氣涌入不敏感

· 可靠： 出色的點火性能

· 低雜散磁場

· 超壓穩(wěn)定：過壓穩(wěn)定性高達 16 bar

· 金屬密封不銹鋼傳感器單元，適用于特高壓應(yīng)用（浸出率<5e-10毫巴升/秒）

· 防護等級高達 IP54

· 多種接口：數(shù)字RS485接口加上0-10 V輸出信號，EtherCAT或PROFINET。

· 繼電器開關(guān)點：兩個獨立的、無電勢的繼電器開關(guān)點